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  • 産品詳情
    四氟化碳
    • 所属分类:電子氣體-四氟化碳
    • 關鍵詞:四氟化碳
    • 價格:0.00
    • 發布日期:2015-01-01
    •  

    四氟化碳 (CF4)

     

    項目名稱

    純度指標(%)
    四氟化碳

    ≥99.999

     

    雜質含量(ppm)

     

    氧氣(O2)

    ≤5
    水(H2O)

    ≤2

    氮氣(N2)

    ≤2
    二氧化碳(CO2)

    ≤1

    一氧化碳(CO)

    ≤1
    碳氫化合物(THC)

    ≤1

     

    包裝:采用47L、44L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要,分裝到8L的氣瓶中。

     

    用途:四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体 ,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧氣的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

     

    理化性質: 在常溫下 , 四氟化碳是無色、無臭、不燃的可壓縮性氣體,揮發性較高,是最穩定的有機化合物之一,在 900 ℃時,不與銅、鎳、鎢、钼反應,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度爲0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解産生有毒氟化物。

     

    注意事項:四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名,注意驗瓶日期,先進倉的先發用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。泄漏時,應迅速撤離泄漏汙染區人員至上風處,並進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,即時使用。漏氣容器要妥善處理,修複、檢驗後再用。

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